产品描述
应用描述
碳化硅陶瓷球用于半导体晶圆搬运设备、光刻机台、真空输送系统、半导体设备精密轴承，可在高洁净、高真空、耐化学腐蚀的严苛环境中稳定运行，避免对晶圆造成污染。
产品特点与优势
▪ 高洁净度、低放气率，不污染工艺环境与晶圆表面。
▪ 耐酸碱腐蚀、化学稳定性好，可适配多种半导体工艺环境。
▪ 无磁绝缘，不干扰半导体设备的精密检测与控制信号。
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1.晶圆搬运机械臂 碳化硅陶瓷球用于晶圆搬运手臂轴承，在高洁净环境中低颗粒低放气运行，避免污染晶圆表面，保障良率 |
2.光刻机精密轴承 应用于光刻机台的精密轴承与导轨部件，碳化陶瓷球高精度、低振动运行，确保光刻精度与设备稳定性。 |
3.真空输送系统 碳化硅陶瓷球在高真空环境中低放气率、耐腐蚀，保证真空洁净度，实现晶圆安全高效传输。 |
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4.晶圆检测与量测设备 用于检测设备中的精密轴承与旋转部件，无磁绝缘、不干扰检测信号，保障量测数据的准确性与重复性 |
5.刻蚀/薄膜沉积设备 碳化硅陶瓷球耐酸碱腐蚀、化学稳定性好，适应等离子体、腐蚀性气体等严苛工艺环境，延长设备寿命 |
6.晶圆存储与传送模组 应用于EFEM/FOUP等模组的传动与导向部件，低颗粒、耐磨损，确保长时间高洁净运行，降低维护频次 |
关键词: 半导体晶圆制程
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